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貼片加工靜電吸附
在半導(dǎo)體和半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)過(guò)程中,我們經(jīng)常會(huì)使用SiO2和高分子物質(zhì)作為材料。這些材料具有很高的絕緣性,在生產(chǎn)過(guò)程中容易產(chǎn)生靜電,并吸附空氣中的帶電微粒,導(dǎo)致半導(dǎo)體界面的穿透和失效現(xiàn)象。為了避免這種危害,我們必須在潔凈室中進(jìn)行半導(dǎo)體和半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)。同時(shí),潔凈室的墻面、頂棚、地板以及作業(yè)人員和所有工具都必須采取防止靜電的措施。
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